超高精度面形扫描测量系统

昂科光电和中国科学院某研究所开发的超高精度面形扫描测量系统成功交付。

基于超高精度角度测量和多轴数控机床系统，测量系统对于1000mm口径的测量，其稳定度和重复性达到nm级别的测量效果。

后续的测量系统还将实现对于不同类型面形面形的测量功能，对PV,RMS,R值，Slope等参量进行量化测量，在主要参数达到和超越国外先进水平。

    这方面的工作将是一个不断深入和持续提高的过程。