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数字式激光干涉仪 当前位置:首页 -> 产品展示 -> 数字式激光干涉仪

  数字式激光干涉仪是以激光光波为载体,以激光波长为单位的一种计量测试仪器,它具有快速高效、非接触无损伤、客观数字化等特点,在精度和灵敏度上优于传统类型的激光干涉仪。
  数字式激光干涉仪基于Fizeau干涉原理,是一种共光路、高精度、高灵敏度的面形和波前测量仪器。该仪器主要包含光源、成像以及移相等模块,光源采用波长λ=632.8nm的He-Ne激光光源,常用有效测量口径为∅100mm,配备适当的测量附件,可实现对于球面、非球面、柱面、棱镜、晶体等各种光学零件、组件的面形和波前的测量,因此可应用于高精度光学元件制造、测试和计量检测等方面。


系统光路图


技术指标

术指标

参数值

测量原理

斐索(Fizeau)干涉原理

显示方式

CCD显示

连续变焦倍数

0.7~ 4.5

标准参照镜面形精度

P-Vλ/20(可配备不同等级的标准镜)

样品反射率

4%~99%(特别高反或低反测试件需制备测试附件)

激光光源

He-Ne激光

激光波长

632.8 nm

测量口径

4英寸以及60mm120mm150mm(其他定制)

    

110/220V AC

最佳工作温度

-40 ~ +70

安装构造

水平卧式或垂直立式

外形尺寸(××)

684mm×315 mm×416mm4英寸口径)

质量

80kg4英寸口径)


产品特点

(1) 参考光和测试光共光路,抗干扰能力强

(2) 高灵敏度,可实现非接触无损测量

(3) 0.7 ~ 4.5倍连续变焦功能,高分辨率成像

(4) 操作简单,易于使用


应用领域

(1)光学镜片、光学组件的面形和波前检测

(2)相机、安防及车载等镜头的波前检测

(3)航空航天成像系统检测和超精密机械件检测等


软件测量界面


 
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