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白光干涉仪 当前位置:首页 -> 产品展示 -> 白光干涉仪



产品概述

  白光干涉仪基于白光干涉原理, 采用非接触式的测量方法,用于高精度的平面和曲面轮廓尺寸、形状误差、波纹度及表面粗糙度的测量,也可实现量块、量规等精密零件的尺寸测量,是目前在3D检测领域中精度最高的测量仪器之一。



产品参数

技术指标

参数值

扫描装置

长范围,Z 轴纳米光栅控制

   

Nikon10X,无限远共轭干涉物镜,2.5X5X20X50X100X(可选)

   

与选用物镜及放大倍率相关,运用图像拼接技术可得到更大范围

   

卤素光源,可控亮度调节

测量阵列

1K*1K,工业级相机

防撞保护

电子传感器防撞保护

样件观察

软件集成窗口实时观察

Z    

200mm行程,纳米位移闭环反馈

纵向扫描

10mm,与选用物镜相关

扫描帧速

60FPS/s

粗糙度重复性

0.005nm(依据 ISO 25178-2012

光学分辨率

0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关

最大点数

1048576(标准)

台阶测量

准确度≤0.5%,重复性≤0.09 % 1σ



产品特点


  • 非接触式测量,避免被测件表面损伤
  • 三维微观形貌测量纳
  • 米级分辨率
  • 气浮隔振装置
  • 纳米级分辨率


被测样品特性


  • 各种材质:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
  • 反射率: 0.05%~100%


环境要求


  • 温度: 15~30℃,梯度< 1/15 分钟
  • 湿度: 相对湿度 5%~95%,无凝露
  • 隔振: 三通道气浮隔振系统,0.6Mpa清洁气源,气管直径6mm
  • 电源: 220V 稳压电源,三角插孔


应用领域

  白光干涉仪可用来测量三维微观形貌,被广泛应用于电容元器件表面测量、晶元表面粗糙度测量、金属表面纹理粗糙度测量、金属表面纹理测量、表面划痕深度检测等方面;适用于消费电子、精密加工过、光学制造、先进技术研发等领域。


软件界面




 
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