产品概述
WLI-200干涉仪基于白光干涉原理,采用非接触式的测量方法,用于超高精度的平面和曲面轮廓、面形误差、缺陷形态、波纹度及表面粗糙度的测量,也可分析截面、刻线凹槽深度和台阶高度等,具有高测量精度、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广等优点,是目前在3D检测领域精度最高的测量仪器之一。
产品特点
1) 非接触式测量,避免被测件表面的损伤
2) 三维微观形貌测量
3) 纳米级分辨率
4) 气浮隔振装置
5) 可实现大范围的三维拼接检测
被测样品特性
1) 各种材质:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射
2) 反射率:0.5%~100%
环境要求
1) 温度: 15~30℃,梯度< 1℃/15 分钟
2) 湿度: 相对湿度 5%~95%,无凝露
3) 隔振: 三通道气浮隔振系统
4) 电源: 220V 稳压电源,三角插孔
产品参数
应用领域
WLI-200 干涉仪可用来测量三维微观形貌,被广泛应用于电容元器件表面测量、晶圆表面粗糙度测量、金属表面纹理测量、表面划痕深度检测等方面;适用于消费电子、精密加工、光学制造、先进技术研发等领域。
应用示例
精密光学




航空航天

材料

软件界面

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