产品描述
Wavapex（翎光系列）数字式激光干涉仪，是一款用于对各种光学元件表面进行纳米级精密测量的检测仪器。它是以菲索干涉技术为原理，结合机械移相技术和数字波面提取等算法，从而实现光学器件表面形貌及关键参数测量的光学检测仪器。
该系列干涉仪可广泛应用于光学制造、半导体制造、精密机械与模具、航空航天、国防军工、科学研究等领域中。可测球面、非球面、柱面、棱镜、晶体等各种光学零件、组件的面形、波前和曲率半径等参数；也可用于光学平板、精密玻璃等平面工件的表面平整度和透射波前检测。仪器测量软件具备PV（峰谷值）、RMS（均方根）、IRR（不规则度）、Zernike多项式系数、Seidel像差系数等面形评价指标；支持2D/3D表面微观形貌的显示与输出；同时支持定制化服务，能根据客户特定需求开发专属测量模块。
产品特点
1) 纳米级检测能力，满足超高精度测量需求
2) 非接触式测量，可实现无损检测
3) 参考光和测试光共光路，抗环境干扰能力强
4) 操作简单，易于使用，数字化测量，适配快速检测需求
产品参数
Wavapex数字移相干涉测量软件
该测量软件的主要功能是操控设备的硬件，快速复原面形/波前并给出测量结果。
|
