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产品概述
白光干涉仪基于白光干涉原理, 采用非接触式的测量方法,用于高精度的平面和曲面轮廓尺寸、形状误差、波纹度及表面粗糙度的测量，也可实现量块、量规等精密零件的尺寸测量，是目前在3D检测领域中精度最高的测量仪器之一。
产品参数
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技术指标
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参数值
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扫描装置
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长范围，Z轴纳米光栅控制
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物 镜
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10X，无限远共轭干涉物镜2.5X，5X，20X，50X，100X（可选）
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视 场
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与选用物镜及放大倍率相关,运用图像拼接技术可得到更大范围
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光 源
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卤素光源，可控亮度调节
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测量阵列
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1K*1K，工业级相机
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样件观察
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软件集成窗口实时观察
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Z 轴
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200mm行程
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纵向扫描
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7.4mm(10X镜头)
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扫描帧速
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60FPS/s
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粗糙度重复性
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0.5nm
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光学分辨率
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0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关
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最大点数
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1310720（标准)
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台阶测量
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准确度≤0.5%，重复性≤0.09 % 1σ
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产品特点
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非接触式测量，避免被测件表面损伤
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三维微观形貌测量纳
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米级分辨率
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气浮隔振装置
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纳米级分辨率
被测样品特性
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各种材质：透明，不透明，镀膜,非镀膜，反射，弱反射
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反射率： 0.05%~100%
环境要求
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温度： 15~30℃，梯度< 1℃/15 分钟
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湿度： 相对湿度 5%~95%，无凝露
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隔振： 三通道气浮隔振系统，0.6Mpa清洁气源，气管直径6mm
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电源： 220V 稳压电源，三角插孔
应用领域
白光干涉仪可用来测量三维微观形貌，被广泛应用于电容元器件表面测量、晶元表面粗糙度测量、金属表面纹理粗糙度测量、金属表面纹理测量、表面划痕深度检测等方面；适用于消费电子、精密加工过、光学制造、先进技术研发等领域。
软件界面
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