产品概述
WLI-200M干涉仪基于白光干涉原理，采用非接触式的测量方法，用于超高精度的平面和曲面轮廓、面形误差、缺陷形态、波纹度及表面粗糙度的测量，也可分析截面、刻线凹槽深度和台阶高度等，具有高测量精度、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广等优点，是目前在3D检测领域精度最高的测量仪器之一。
产品特点
1) 非接触式测量，避免被测件表面的损伤
2) 三维微观形貌测量
3) 纳米级分辨率
4) 可实现大范围的三维拼接检测
5) 气浮隔振装置
被测样品特性
1) 各种材质：透明，不透明，镀膜，非镀膜，反射，弱反射
2) 反射率：0.5%~100%
产品参数
应用领域
WLI-200M干涉仪可用来测量三维微观形貌，被广泛应用于电子元器件表面测量、晶圆表面粗糙度测量、金属表面纹理测量、表面划痕深度检测等方面；适用于消费电子、精密加工、光学制造、先进技术研发等领域。
WLI-200M测量软件
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